Borono trichloridas (BCL3)yra neorganinis junginys, dažniausiai naudojamas sauso ėsdinimo ir cheminio garų nusėdimo (CVD) procesuose puslaidininkių gamyboje. Tai yra bespalvės dujos, turinčios stiprų aštrų kvapą kambario temperatūroje, ir yra jautri drėgnam orui, nes hidrolizuojasi gaminti druskos rūgštį ir boro rūgštį.

Boro trichlorido taikymas

Puslaidininkių pramonėje,Boro trichloridasdaugiausia naudojamas sausam aliuminio ėsdinimui ir kaip dopantas, sudarantis p tipo regionus ant silicio plokštelių. Jis taip pat gali būti naudojamas išgraviruoti tokias medžiagas kaip GAAS, SI, ALN ir kaip boro šaltinis tam tikrose konkrečiose programose. Be to, boro trichloridas yra plačiai naudojamas metalo perdirbimo, stiklo pramonės, cheminės analizės ir laboratorinių tyrimų metu.

Boro trichlorido saugumas

Boro trichloridasyra ėsdinantis ir toksiškas ir gali padaryti didelę žalą akims ir odai. Jis hidrolizuoja drėgname ore, kad išsiskyrtų toksiškos vandenilio chlorido dujos. Todėl tvarkant reikia imtis tinkamų saugos priemoniųBoro trichloridas, įskaitant apsauginių drabužių, akinių ir kvėpavimo apsaugos įrangos dėvėjimą ir veikimą gerai vėdinamoje aplinkoje.