Boro trichloridas (BCl3)yra neorganinis junginys, dažniausiai naudojamas sausojo ėsdinimo ir cheminio garų nusodinimo (CVD) procesuose puslaidininkių gamyboje. Tai bespalvės dujos, turinčios stiprų aitrų kvapą kambario temperatūroje ir jautrios drėgnam orui, nes hidrolizuojasi ir susidaro druskos rūgštis ir boro rūgštis.

Boro trichlorido panaudojimas

Puslaidininkių pramonėjeBoro trichloridasdaugiausia naudojamas aliuminio sausam ėsdinimui ir kaip legiruojanti medžiaga P tipo sritims formuoti ant silicio plokštelių. Jis taip pat gali būti naudojamas tokių medžiagų kaip GaAs, Si, AlN ėsdinimui ir kaip boro šaltinis tam tikrose specifinėse srityse. Be to, boro trichloridas plačiai naudojamas metalo apdirbime, stiklo pramonėje, cheminėje analizėje ir laboratoriniuose tyrimuose.

Boro trichlorido saugumas

Boro trichloridasyra ėsdinantis ir toksiškas, galintis rimtai pažeisti akis ir odą. Drėgname ore jis hidrolizuojasi ir išskiria toksiškas vandenilio chlorido dujas. Todėl tvarkant reikia imtis tinkamų saugos priemonių.Boro trichloridas, įskaitant apsauginių drabužių, akinių ir kvėpavimo takų apsaugos priemonių dėvėjimą bei darbą gerai vėdinamoje aplinkoje.