Lazerio dujos

Lazerio dujos daugiausia naudojamos lazeriniam atkaitinimui ir litografijos dujoms elektronikos pramonėje. Mobiliųjų telefonų ekranų naujovėmis ir taikymo sričių išplėtimu bus toliau plečiamas žemos temperatūros polisilicio rinkos mastas, o lazerinio atkaitinimo procesas žymiai pagerino TFT našumą. Tarp neoninių, fluoro ir argono dujų, naudojamų ArF eksimeriniame lazeryje puslaidininkių gamybai, neonas sudaro daugiau nei 96% lazerio dujų mišinio. Tobulinus puslaidininkių technologiją, išaugo eksimerinių lazerių naudojimas, o įdiegus dvigubos ekspozicijos technologiją smarkiai išaugo ArF eksimerinių lazerių sunaudojamų neoninių dujų paklausa. Naudodamiesi elektroninių specialių dujų lokalizavimo skatinimu, vietiniai gamintojai ateityje turės geresnę rinkos augimo erdvę.

Litografijos mašina yra pagrindinė puslaidininkių gamybos įranga. Litografija apibrėžia tranzistorių dydį. Koordinuota litografijos pramonės grandinės plėtra yra raktas į litografijos mašinos proveržį. Atitinkamos puslaidininkinės medžiagos, tokios kaip fotorezistas, fotolitografijos dujos, fotokaukė ir dengimo bei ryškinimo įranga, turi aukštą technologinį turinį. Litografijos dujos yra dujos, kurias litografijos aparatas generuoja giluminio ultravioletinio lazerio lazeriu. Skirtingos litografinės dujos gali gaminti skirtingo bangos ilgio šviesos šaltinius, o jų bangos ilgis tiesiogiai veikia litografijos aparato, kuris yra vienas iš litografijos aparato branduolių, skiriamąją gebą. 2020 m. bendras litografijos aparatų pardavimas pasaulyje sieks 413 vienetų, iš kurių ASML parduota 258 vienetai sudarė 62 proc., „Canon“ – 122 vienetai – 30 proc., o „Nikon“ – 33 vienetai – 8 proc.