Lazerinės dujos daugiausia naudojamos elektronikos pramonėje lazeriniam atkaitinimui ir litografijos dujoms. Pasinaudojant mobiliųjų telefonų ekranų inovacijomis ir išplėtus taikymo sritis, žemos temperatūros polikristalinio silicio rinkos mastas dar labiau išsiplės, o lazerinio atkaitinimo procesas žymiai pagerino TFT našumą. Tarp neono, fluoro ir argono dujų, naudojamų ArF eksimeriniame lazeryje puslaidininkių gamyboje, neonas sudaro daugiau nei 96 % lazerinių dujų mišinio. Tobulėjant puslaidininkių technologijoms, padidėjo eksimerinių lazerių naudojimas, o dvigubo ekspozicijos technologijos įdiegimas smarkiai padidino ArF eksimerinių lazerių sunaudojamų neono dujų paklausą. Pasinaudodami elektroninių specialiųjų dujų lokalizacijos skatinimu, vietiniai gamintojai ateityje turės geresnę rinkos augimo erdvę.
Litografijos aparatas yra pagrindinė puslaidininkių gamybos įranga. Litografija apibrėžia tranzistorių dydį. Koordinuotas litografijos pramonės grandinės vystymas yra raktas į litografijos aparatų proveržį. Suderintos puslaidininkinės medžiagos, tokios kaip fotorezistas, fotolitografijos dujos, fotokaukės ir dengimo bei ryškinimo įranga, pasižymi aukšto technologinio lygio savybėmis. Litografijos dujos – tai dujos, kurias litografijos aparatas generuoja giliuoju ultravioletiniu lazeriu. Skirtingos litografijos dujos gali generuoti skirtingo bangos ilgio šviesos šaltinius, o jų bangos ilgis tiesiogiai veikia litografijos aparato, kuris yra vienas iš pagrindinių jo elementų, skiriamąją gebą. 2020 m. bendras pasaulinis litografijos aparatų pardavimas sieks 413 vienetų, iš kurių 258 vienetai ASML pardavimų sudarė 62 %, 122 vienetai Canon pardavimų – 30 %, o 33 vienetai Nikon pardavimų – 8 %.
Įrašo laikas: 2021 m. spalio 15 d.
