Vandenilio chloridasyra bespalvės dujos su aštraus kvapu. Jo vandeninis tirpalas vadinamas druskos rūgštimi, dar vadinama druskos rūgštimi. Vandenilio chloridas yra labai tirpus vandenyje. Esant 0 ° C, 1 tūris vandens gali ištirpinti apie 500 tūrio vandenilio chlorido.

Jis turi šias savybes ir charakteristikas:

1. Aukštas grynumas

Elektroninio laipsnio grynumasVandenilio chloridasyra labai aukštas, paprastai PPM ar žemesniame lygyje, siekiant užtikrinti, kad į puslaidininkių gamybos procesą nebus įvestos priemaišos.

2. Inertiškumas

Tai chemiškai inertinės dujos, nereaguojančios su daugeliu kitų medžiagų, o tai labai svarbu užkirsti kelią puslaidininkių medžiagų ir įrangos užterštumui.

3. Didelis stabilumas

Elektroninis laipsnisVandenilio chloridasPaprastai turi stabilią chemiją, kad būtų užtikrintas patikimas puslaidininkių apdorojimas.

Puslaidininkių apdorojant pagrindinius elektroninio laipsnio vandenilio chlorido taikymą:

1. Paviršiaus valymas ir paruošimas

Kaip efektyvus paviršiaus valiklis, elektroninis laipsnisVandenilio chloridasyra naudojamas oksidams ir priemaišoms pašalinti iš substrato paviršiaus, kad būtų užtikrinta epitaksinio sluoksnio ar plėvelės kokybė ir grynumas.

2.epitaksinė augimo pagalba

Naudojamas kaip paviršiaus apdorojimo agentas epitaksiniame procese, jis padeda pagerinti epitaksinio sluoksnio kokybę, pagerinti grotelių atitikimą ir sumažinti grotelių defektų susidarymą.

3. Pagrindinio gydymo substratas

Prieš ruošiant puslaidininkinius prietaisus, elektroninis laipsnisVandenilio chloridasGali būti naudojamas substrato paviršiui gydyti, kad būtų stabilus pagrindas, siekiant pagerinti sukibimą tarp epitaksinio sluoksnio ir substrato.

4. Depozicijos pagalbinis agentas

Cheminio garų nusėdimo (CVD) arba fizinio garų nusėdimo procese (PVD) elektroninis vandenilio chloridas gali būti naudojamas kaip dujų fazės perdavimo terpė, norint dalyvauti puslaidininkių medžiagų nusėdimo reakcijoje.

5. Dujų fazės perdavimo agentas

Kaip dujų fazės perdavimo agentas, į reakcijos kamerą įvežami kiti dujiniai pirmtakai, kurie padeda pakoreguoti medžiagos nusėdimo greitį ir vienodumą.

Šios savybės sudaro elektroninį laipsnįVandenilio chloridasSvarbus puslaidininkių technologijos apdorojimo agentas, kuris daro didelę įtaką galutinio įrenginio našumui ir patikimumui.

Be to, kad jis buvo naudojamas puslaidininkių apdorojime, elektroninio laipsnio vandenilio chloridas gali rasti įvairių naudojimo būdų kitose vietose, įskaitant: didelio grynumo medžiagų, kuro elementų, puslaidininkių medžiagų augimo, garų fazės litografijos, medžiagų analizės, cheminių tyrimų paruošimą.

Apskritai, elektroninė klasėVandenilio chloridasyra universalios, didelio grynumo dujos, turinčios platų programų asortimentą ne puslaidininkių gamyboje.