2018 m. pasaulinė integrinių grandynų elektroninių dujų rinka pasiekė 4,512 mlrd. JAV dolerių, ty 16% daugiau nei per metus. Didelis puslaidininkių elektroninių specialiųjų dujų pramonės augimo tempas ir didžiulis rinkos dydis paspartino vietinį elektroninių specialiųjų dujų pakeitimo planą!
Kas yra elektronų dujos?
Elektroninės dujos – tai pagrindinė žaliava, naudojama puslaidininkių, plokščiųjų ekranų, šviesos diodų, saulės elementų ir kitų elektroninių gaminių gamyboje, ir yra plačiai naudojama valymo, ėsdinimo, plėvelės formavimo, dopingo ir kituose procesuose. Pagrindinės elektroninių dujų taikymo sritys yra elektronikos pramonė, saulės elementai, mobilusis ryšys, automobilių navigacija ir automobilių garso ir vaizdo sistemos, aviacija, karinė pramonė ir daugelis kitų sričių.
Elektronines specialias dujas pagal jų cheminę sudėtį galima suskirstyti į septynias kategorijas: silicį, arseną, fosforą, borą, metalo hidridą, halogenidą ir metalo alkoksidą. Pagal skirtingus taikymo metodus integriniuose grandynuose jas galima suskirstyti į dopingo dujas, epitaksines dujas, jonų implantavimo dujas, šviesos diodų dujas, ėsdinimo dujas, cheminio garų nusodinimo dujas ir balansines dujas. Puslaidininkių pramonėje naudojama daugiau nei 110 vienetų specialių dujų, iš kurių daugiau nei 30 yra dažniausiai naudojamos.
Paprastai puslaidininkių gamybos pramonė dujas skirsto į dvi rūšis: įprastas ir specialiąsias dujas. Tarp jų dažniausiai naudojamos dujos reiškia centralizuotą tiekimą ir naudoja daug dujų, tokių kaip N2, H2, O2, Ar, He ir kt. Specialiosios dujos – tai kai kurios cheminės dujos, naudojamos puslaidininkių gamybos procese, pvz. pratęsimas, jonų įpurškimas, maišymas, plovimas ir kaukės formavimas, o tai dabar vadiname elektroninėmis specialiosiomis dujomis, tokiomis kaip didelio grynumo SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 ir kt.
Visame puslaidininkių pramonės gamybos procese nuo lustų augimo iki galutinio įrenginio įpakavimo beveik kiekviena grandis neatsiejama nuo elektroninių specialiųjų dujų bei naudojamų dujų įvairovės ir aukštų kokybės reikalavimų, todėl elektroninės dujos turi puslaidininkines medžiagas. "Maistas".
Pastaraisiais metais Kinijos pagrindinių elektroninių komponentų, pvz., puslaidininkių ir ekranų plokščių, gamybos pajėgumai padidėjo, todėl yra didelė paklausa, kad elektroninės cheminės medžiagos būtų pakeistos importu. Elektroninių dujų padėtis puslaidininkių pramonėje tampa vis ryškesnė. Vidaus elektroninių dujų pramonė pradės spartų augimą.
Elektroninėms specialiosioms dujoms keliami labai aukšti grynumo reikalavimai, nes jei grynumas neatitinka reikalavimų, elektroninėse specialiose dujose esančios priemaišų grupės, tokios kaip vandens garai ir deguonis, lengvai suformuos oksido plėvelę puslaidininkio paviršiuje, o tai paveikia elektroninių prietaisų tarnavimo laikas, o elektroninėse specialiose dujose yra priemaišų dalelės gali sukelti puslaidininkių trumpąjį jungimą ir grandinės pažeidimus. Galima sakyti, kad grynumo gerinimas atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį elektroninių prietaisų gamybos produktyvumui ir našumui.
Nuolat tobulėjant puslaidininkių pramonei, lustų gamybos procesas ir toliau tobulėja, o dabar jis pasiekė 5 nm, o tai artėja prie Moore'o dėsnio ribos, kuri prilygsta vienai dvidešimtajai žmogaus plauko skersmens ( apie 0,1 mm). Todėl tai taip pat kelia aukštesnius puslaidininkių gaminamų elektroninių specialiųjų dujų grynumo reikalavimus.
Paskelbimo laikas: 2021-12-15
