2018 m. pasaulinė integruotų grandynų elektroninių dujų rinka pasiekė 4,512 mlrd. JAV dolerių – 16 % daugiau nei tuo pačiu laikotarpiu praėjusiais metais. Dėl didelio elektroninių specialiųjų dujų pramonės, skirtos puslaidininkiams, augimo tempo ir didžiulio rinkos dydžio paspartėjo elektroninių specialiųjų dujų pakeitimo vidaus rinkoje planas!
Kas yra elektronų dujos?
Elektroninės dujos – tai pagrindinė žaliava, naudojama puslaidininkių, plokščiųjų ekranų, šviesos diodų, saulės elementų ir kitų elektroninių gaminių gamyboje, ir yra plačiai naudojamos valymo, ėsdinimo, plėvelių formavimo, legiravimo ir kituose procesuose. Pagrindinės elektroninių dujų taikymo sritys apima elektronikos pramonę, saulės elementus, mobilųjį ryšį, automobilių navigaciją ir automobilių garso bei vaizdo sistemas, aviacijos ir kosmoso, karinę pramonę ir daugelį kitų sričių.
Elektronikos specialiąsias dujas pagal jų cheminę sudėtį galima suskirstyti į septynias kategorijas: silicį, arseną, fosforą, borą, metalo hidridą, halogenidą ir metalo alkoksidą. Pagal skirtingus integrinių grandynų taikymo būdus jas galima suskirstyti į legiravimo dujas, epitaksijos dujas, jonų implantavimo dujas, šviesos diodų dujas, ėsdinimo dujas, cheminio garų nusodinimo dujas ir balansavimo dujas. Puslaidininkių pramonėje naudojama daugiau nei 110 specialiųjų dujų rūšių, iš kurių daugiau nei 30 yra dažniausiai naudojamos.
Paprastai puslaidininkių gamybos pramonė dujas skirsto į dvi rūšis: įprastas dujas ir specialias dujas. Iš jų dažniausiai naudojamos dujos reiškia centralizuotą tiekimą ir daug dujų sunaudojančias dujas, tokias kaip N2, H2, O2, Ar, He ir kt. Specialios dujos reiškia kai kurias chemines dujas, naudojamas puslaidininkių gamybos procese, pvz., ilginimui, jonų įpurškimui, maišymui, plovimui ir kaukių formavimui, kurias dabar vadiname specialiomis elektroninėmis dujomis, pvz., didelio grynumo SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 ir kt.
Visame puslaidininkių pramonės gamybos procese, nuo lustų auginimo iki galutinio įrenginio pakavimo, beveik kiekviena grandis yra neatsiejama nuo elektroninių specialiųjų dujų, naudojamų dujų įvairovės ir aukštų kokybės reikalavimų, todėl elektroninės dujos turi puslaidininkines medžiagas. „Maistas“.
Pastaraisiais metais Kinijos pagrindiniai elektroniniai komponentai, tokie kaip puslaidininkiai ir ekranų plokštės, padidino naujus gamybos pajėgumus, todėl labai išaugo elektroninių cheminių medžiagų importo pakeitimo poreikis. Elektroninių dujų padėtis puslaidininkių pramonėje tampa vis svarbesnė. Vietinė elektroninių dujų pramonė sparčiai augs.
Elektroninėms specialiosioms dujoms keliami labai aukšti grynumo reikalavimai, nes jei grynumas neatitinka reikalavimų, elektroninėse specialiosiose dujose esančios priemaišų grupės, tokios kaip vandens garai ir deguonis, lengvai suformuos oksido plėvelę ant puslaidininkio paviršiaus, o tai turės įtakos elektroninių prietaisų tarnavimo laikui, o elektroninėse specialiosiose dujose esančios priemaišų dalelės gali sukelti puslaidininkių trumpuosius jungimus ir grandinės pažeidimus. Galima teigti, kad grynumo gerinimas vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį elektroninių prietaisų gamybos našumui ir našumui.
Nuolat tobulėjant puslaidininkių pramonei, lustų gamybos procesas toliau tobulėja ir dabar pasiekė 5 nm, o tai netrukus artėja prie Moore'o dėsnio ribos, kuri atitinka dvidešimtąją žmogaus plauko skersmens dalį (apie 0,1 mm). Todėl tai taip pat kelia didesnius reikalavimus puslaidininkių gaminamų elektroninių specialiųjų dujų grynumui.
Įrašo laikas: 2021 m. gruodžio 15 d.
