2018 m. Pasaulinė integruotų grandinių elektroninių dujų rinka siekė 4,512 milijardo JAV dolerių, ty 16%daugiau nei per metus. Didelis elektroninės specialiosios dujų pramonės augimo tempas puslaidininkiams ir didžiulis rinkos dydis pagreitino elektroninių specialių dujų vidaus pakeitimo planą!
Kas yra elektronų dujos?
Elektroninės dujos reiškia pagrindinę šaltinio medžiagą, naudojamą gaminant puslaidininkius, plokščius ekranus, šviesos diodus, saulės elementus ir kitus elektroninius produktus, ir yra plačiai naudojamos valyme, ėsdinant, formuojant plėvelę, doping ir kitus procesus. Pagrindinės elektroninių dujų taikymo sritys apima elektronikos pramonę, saulės elementus, mobiliuosius ryšius, automobilių navigaciją ir automobilių garso ir vaizdo sistemas, aviacijos ir kosmoso, karinės pramonės ir daugelio kitų sričių.
Elektroninės specialios dujos gali būti suskirstytos į septynias kategorijas pagal jos pačios cheminę sudėtį: silicio, arseno, fosforo, boro, metalo hidrido, halogenido ir metalo alkoksido. Remiantis skirtingais integruotų grandinių taikymo metodais, ją galima suskirstyti į dopingo dujas, epitaksijos dujas, jonų implantacijos dujas, šviesos diodų dujas, ėsdinančias dujas, cheminio garų nusėdimo dujas ir balansines dujas. Puslaidininkių pramonėje naudojamos daugiau nei 110 specialių dujų, iš kurių dažniausiai naudojama daugiau nei 30.
Paprastai puslaidininkių gamybos pramonė dujas padalija į dvi rūšis: įprastas dujas ir specialias dujas. Tarp jų dažniausiai naudojamos dujos nurodo centralizuotą tiekimą ir joje naudojamos daug dujų, tokių kaip N2, H2, O2, AR, HE ir kt. Specialiosios dujos reiškia kai kurias chemines dujas, naudojamas puslaidininkių gamyboje, kaip mes dabar vadiname elektroninėmis specialiosiomis dujomis, tokiomis kaip aukšto stiprumo, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ph3, ash3, b2h, B2, B2, B2, B2, B2, B2, B2, B2. NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 ir kt.
Visame puslaidininkių pramonės gamybos procese, pradedant lustų augimu ir baigiant galutine prietaiso pakuote, beveik kiekviena jungtis yra neatsiejama nuo elektroninių specialių dujų, o naudojamų dujų įvairovė ir aukštos kokybės reikalavimai, taigi elektroninės dujos turi puslaidininkių medžiagas. „Maistas“.
Pastaraisiais metais pagrindiniai Kinijos elektroniniai komponentai, tokie kaip puslaidininkiai ir ekrano plokštės, padidėjo naujos gamybos pajėgumai, todėl labai reikia importuoti elektronines chemines medžiagas. Puslaidininkių pramonėje elektroninių dujų padėtis tapo vis ryškesnė. Vidaus elektroninių dujų pramonė sparčiai augs.
Elektroninės specialios dujos turi labai didelius grynumo reikalavimus, nes jei grynumas neatitinka reikalavimų, priemaišų grupės, tokios kaip vandens garai ir deguonis elektroninėmis specialiosiomis dujomis, lengvai sudarys oksido plėvelę puslaidininkio paviršiuje, o tai daro įtaką trumpalaikių grandinių tarnybiniam laikui, o elektroninėse specialiosiose dujose yra prielaidų dalys. Galima sakyti, kad grynumo patobulinimas vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį kuriant ir veikiant elektroninių prietaisų gamybai.
Nuolat plėtojant puslaidininkių pramonę, lustų gamybos procesas ir toliau tobulėja, o dabar jis pasiekė 5 nm, o tai artėja prie Moore'o įstatymo, kuris yra lygus žmogaus plaukų skersmens (apie 0,1 mm), ribą (apie 0,1 mm). Todėl tai taip pat kelia aukštesnius reikalavimus dėl elektroninių specialių dujų, kurias gamina puslaidininkiai, grynumo.
Pašto laikas: 2012 m. Gruodžio-15 d
