Sieros heksafluoridas yra dujos, pasižyminčios puikiomis izoliacinėmis savybėmis ir dažnai naudojamos aukštos įtampos lanko gesinimo įrenginiuose ir transformatoriuose, aukštos įtampos perdavimo linijose, transformatoriuose ir kt. Tačiau, be šių funkcijų, sieros heksafluoridas taip pat gali būti naudojamas kaip elektroninis ėsdiklis. . Elektroninės klasės didelio grynumo sieros heksafluoridas yra idealus elektroninis ėsdiklis, plačiai naudojamas mikroelektronikos technologijų srityje. Šiandien Niu Ruide specialusis dujų redaktorius Yueyue supažindins su sieros heksafluorido pritaikymu silicio nitrido ėsdinimo būdu ir skirtingų parametrų įtaka.
Aptariame SF6 plazminio ėsdinimo SiNx procesą, įskaitant plazmos galios, SF6/He dujų santykio keitimą ir katijoninių dujų O2 pridėjimą, jo įtaką TFT SiNx elemento apsauginio sluoksnio ėsdinimo greičiui ir plazmos spinduliuotės naudojimą. spektrometras analizuoja kiekvienos rūšies koncentracijos pokyčius SF6/He, SF6/He/O2 plazmoje ir SF6 disociacijos greitį bei tiria ryšį tarp SiNx kitimo. ėsdinimo greitis ir rūšies koncentracija plazmoje.
Tyrimais nustatyta, kad padidinus plazmos galią, padidėja ėsdinimo greitis; jei SF6 srautas plazmoje padidėja, F atomo koncentracija didėja ir yra teigiamai koreliuojama su ėsdinimo greičiu. Be to, pridėjus katijoninių dujų O2 pagal fiksuotą bendrą srautą, tai padidins ėsdinimo greitį, tačiau esant skirtingiems O2/SF6 srauto santykiams, bus skirtingi reakcijos mechanizmai, kuriuos galima suskirstyti į tris dalis. : (1) O2/SF6 srauto santykis yra labai mažas, O2 gali padėti disociuoti SF6, o ėsdinimo greitis šiuo metu yra didesnis nei tada, kai O2 nepridedama. (2) Kai O2/SF6 srauto santykis yra didesnis nei 0,2 iki intervalo, artėjančio prie 1, šiuo metu dėl didelio SF6 disociacijos, kad susidarytų F atomai, ėsdinimo greitis yra didžiausias; bet tuo pat metu O atomų plazmoje taip pat daugėja ir Su SiNx plėvelės paviršiumi lengva sudaryti SiOx arba SiNxO(yx), ir kuo daugiau O atomų padidės, tuo F atomai bus sunkiau. ėsdinimo reakcija. Todėl ėsdinimo greitis pradeda lėtėti, kai O2/SF6 santykis yra artimas 1. (3) Kai O2/SF6 santykis yra didesnis nei 1, ėsdinimo greitis mažėja. Dėl didelio O2 padidėjimo disocijuoti F atomai susiduria su O2 ir susidaro OF, todėl sumažėja F atomų koncentracija, todėl sumažėja ėsdinimo greitis. Iš to matyti, kad pridėjus O2, O2/SF6 srauto santykis yra nuo 0,2 iki 0,8 ir galima gauti geriausią ėsdinimo greitį.
Paskelbimo laikas: 2021-06-06
