Volframo heksafluoridas (WF6) deponuojamas ant vaflinio paviršiaus per CVD procesą, užpildydamas metalines sujungimo tranšėjos ir sudarant metalo sujungimą tarp sluoksnių.
Pirmiausia pakalbėkime apie plazmą. Plazma yra medžiagos forma, kurią daugiausia sudaro laisvieji elektronai ir įkrauti jonai. Jis plačiai egzistuoja visatoje ir dažnai laikomas ketvirtąja materijos būsena. Ji vadinama plazmos būsena, dar vadinama „plazma“. Plazma turi aukštą elektrinį laidumą ir turi stiprų sujungimo poveikį su elektromagnetiniu lauku. Tai iš dalies jonizuotos dujos, sudarytos iš elektronų, jonų, laisvųjų radikalų, neutralių dalelių ir fotonų. Pati plazma yra elektriškai neutralus mišinys, kuriame yra fiziškai ir chemiškai aktyvios dalelės.
Tiesus paaiškinimas yra tas, kad veikiant didelę energiją, molekulė įveiks Van der Waals jėgą, cheminės jungties jėgą ir Kulono jėgą ir pateiks visą neutralios elektros energijos formą. Tuo pačiu metu didelė energija, kurią skleidžia išorė, įveikia aukščiau išvardytas tris jėgas. Funkcija, elektronai ir jonai pateikia laisvą būseną, kuri gali būti dirbtinai naudojama moduliuojant magnetinį lauką, pavyzdžiui, puslaidininkių ėsdinimo procesą, CVD procesą, PVD ir IMP procesą.
Kas yra didelė energija? Teoriškai galima naudoti tiek aukštos temperatūros, tiek aukšto dažnio RF. Paprastai tariant, aukštos temperatūros beveik neįmanoma pasiekti. Šis temperatūros poreikis yra per didelis ir gali būti arti Saulės temperatūros. Iš esmės to neįmanoma pasiekti. Todėl pramonė paprastai naudoja aukšto dažnio RF, kad ją pasiektų. Plasma RF gali siekti net 13MHz+.
Volframo heksafluoridas yra plazmuotas veikiant elektriniam laukui, o po to garų, išsiduodintų magnetiniu lauku. W atomai yra panašūs į žiemos žąsų plunksnas ir patenka į žemę, veikiant gravitacijai. Lėtai W atomai yra dedami į skylutes ir galiausiai užpildomi per skylutes, kad susidarytų metalo sujungimai. Ar ne tik deponuoti W atomus skylėse, bet ir jie bus deponuojami ant vaflio paviršiaus? Taip, tikrai. Apskritai, jūs galite naudoti W-CMP procesą, kurį mes vadiname mechaninio šlifavimo procesu, kad pašalintume. Tai panašu į šluotą, kad būtų galima valyti grindis po sunkaus sniego. Sniegas ant žemės yra nušluotas, tačiau sniegas skylėje ant žemės liks. Žemyn, maždaug tas pats.
Pašto laikas: 2012 m. Gruodžio 24 d
