Volframo heksafluoridas (WF6) nusodinamas ant plokštelės paviršiaus CVD proceso metu, užpildydamas metalines sujungimo tranšėjas ir suformuodamas metalinę jungtį tarp sluoksnių.
Pirmiausia pakalbėkime apie plazmą. Plazma yra medžiagos forma, kurią daugiausia sudaro laisvieji elektronai ir įkrauti jonai. Jis plačiai egzistuoja visatoje ir dažnai laikomas ketvirtąja materijos būsena. Tai vadinama plazmos būsena, dar vadinama „plazma“. Plazma turi didelį elektros laidumą ir turi stiprų ryšį su elektromagnetiniu lauku. Tai iš dalies jonizuotos dujos, sudarytos iš elektronų, jonų, laisvųjų radikalų, neutralių dalelių ir fotonų. Pati plazma yra elektriškai neutralus mišinys, kuriame yra fiziškai ir chemiškai aktyvių dalelių.
Paprastas paaiškinimas yra tas, kad veikiant didelei energijai, molekulė įveiks van der Waalso jėgą, cheminio ryšio jėgą ir Kulono jėgą ir pateiks neutralios elektros formą kaip visumą. Tuo pačiu metu didelė išorės energija įveikia aukščiau minėtas tris jėgas. Funkcija, elektronai ir jonai yra laisvoje būsenoje, kuri gali būti dirbtinai naudojama moduliuojant magnetinį lauką, pavyzdžiui, puslaidininkių ėsdinimo procesas, CVD procesas, PVD ir IMP procesas.
Kas yra didelė energija? Teoriškai galima naudoti tiek aukštos temperatūros, tiek aukšto dažnio RF. Apskritai, aukštą temperatūrą pasiekti beveik neįmanoma. Šis temperatūros reikalavimas yra per didelis ir gali būti artimas saulės temperatūrai. Procese to pasiekti iš esmės neįmanoma. Todėl pramonė paprastai naudoja aukšto dažnio RF, kad tai pasiektų. Plazmos RF gali pasiekti net 13MHz+.
Volframo heksafluoridas plazmizuojamas veikiant elektriniam laukui, o po to magnetiniu lauku nusodinamas garais. W atomai yra panašūs į žieminių žąsų plunksnas ir, veikiami gravitacijos, krenta ant žemės. Lėtai W atomai nusodinami į kiaurymes ir galiausiai užpildomi visiškai per skylutes, kad susidarytų metalinės jungtys. Ar ne tik W atomai nusėda į skyles, bet ir ant plokštelės paviršiaus? Taip, būtinai. Paprastai tariant, pašalinti galite naudoti W-CMP procesą, kurį mes vadiname mechaniniu šlifavimo procesu. Tai panašu į šluotą šluojant grindis po gausaus sniego. Sniegas ant žemės nušluotas, bet sniegas duobėje ant žemės išliks. Žemyn, maždaug tas pats.
Paskelbimo laikas: 2021-12-24
