Volframo heksafluoridas (WF6) nusodinamas ant plokštelės paviršiaus CVD būdu, užpildant metalines jungiamąsias griovelius ir suformuojant metalinę jungtį tarp sluoksnių.
Pirmiausia pakalbėkime apie plazmą. Plazma yra materijos forma, daugiausia sudaryta iš laisvųjų elektronų ir įkrautų jonų. Ji plačiai egzistuoja visatoje ir dažnai laikoma ketvirtąja materijos būsena. Ji vadinama plazmos būsena, dar vadinama „plazma“. Plazma pasižymi dideliu elektriniu laidumu ir stipriu sąveikos su elektromagnetiniu lauku efektu. Tai iš dalies jonizuotos dujos, sudarytos iš elektronų, jonų, laisvųjų radikalų, neutralių dalelių ir fotonų. Pati plazma yra elektriškai neutralus mišinys, kuriame yra fiziškai ir chemiškai aktyvių dalelių.
Paprastas paaiškinimas yra tas, kad veikiant didelei energijai, molekulė įveiks van der Valso jėgą, cheminio ryšio jėgą ir Kulono jėgą ir kaip visuma sukurs neutralios elektros formą. Tuo pačiu metu iš išorės sklindanti didelė energija įveikia minėtas tris jėgas. Funkcija: elektronai ir jonai yra laisvoje būsenoje, kurią galima dirbtinai panaudoti moduliuojant magnetinį lauką, pavyzdžiui, puslaidininkių ėsdinimo, CVD, PVD ir IMP procesuose.
Kas yra aukšta energija? Teoriškai galima naudoti tiek aukštos temperatūros, tiek aukšto dažnio radijo dažnius. Apskritai aukštos temperatūros pasiekti beveik neįmanoma. Šis temperatūros reikalavimas yra per aukštas ir gali būti artimas saulės temperatūrai. Proceso metu to pasiekti iš esmės neįmanoma. Todėl pramonėje jam pasiekti paprastai naudojami aukšto dažnio radijo dažniai. Plazminiai radijo dažniai gali siekti net 13 MHz ir daugiau.
Volframo heksafluoridas plazmizuojamas veikiant elektriniam laukui, o po to garinamas magnetinio lauko. W atomai yra panašūs į žieminių žąsų plunksnas ir, veikiant gravitacijai, krenta ant žemės. Lėtai W atomai nusėda į kiaurymes ir galiausiai užpildomos kiaurymės, sudarydamos metalinius jungtis. Ar W atomai nusėda ne tik kiaurymėse, bet ir plokštelės paviršiuje? Taip, tikrai. Apskritai sniego šalinimui galite naudoti W-CMP procesą, kurį mes vadiname mechaniniu šlifavimo procesu. Tai panašu į grindų valymą šluota po gausaus sniego. Sniegas nuo žemės nušluojamas, bet sniegas duobėje ant žemės liks. Žemyn, maždaug tas pats.
Įrašo laikas: 2021 m. gruodžio 24 d.
