Silanasyra silicio ir vandenilio junginys, bendrinis terminas, apibūdinantis junginių seriją. Silanas daugiausia apima monosilaną (SiH4), disilaną (Si2H6) ir kai kuriuos aukštesnio lygio silicio vandenilio junginius, kurių bendra formulė yra SinH2n+2. Tačiau realioje gamyboje monosilaną (cheminė formulė SiH4) paprastai vadiname „silanu“.

Elektroninis lygissilano dujosdaugiausia gaunamas įvairių reakcijų distiliavimo ir silicio miltelių, vandenilio, silicio tetrachlorido, katalizatoriaus ir kt. valymo būdu. Silanas, kurio grynumas yra nuo 3N iki 4N, vadinamas pramoninio silano, o silanas, kurio grynumas yra didesnis nei 6N, vadinamas elektroninės klasės silano dujomis.

Kaip dujų šaltinis silicio komponentams gabenti,silano dujostapo svarbiomis specialiomis dujomis, kurių dėl didelio grynumo ir gebėjimo tiksliai kontroliuoti negali pakeisti daugelis kitų silicio šaltinių. Monosilanas gamina kristalinį silicį pirolizės reakcijos būdu, kuri šiuo metu yra vienas iš didelio masto granuliuoto monokristalinio silicio ir polikristalinio silicio gamybos būdų pasaulyje.

Silano charakteristikos

Silanas (SiH4)yra bespalvės dujos, kurios reaguoja su oru ir sukelia uždusimą. Jo sinonimas yra silicio hidridas. Silano cheminė formulė yra SiH4, o jo kiekis siekia net 99,99 %. Kambario temperatūroje ir slėgyje silanas yra nemalonaus kvapo toksiškos dujos. Silano lydymosi temperatūra yra -185 ℃, o virimo temperatūra - -112 ℃. Kambario temperatūroje silanas yra stabilus, tačiau kaitinamas iki 400 ℃ jis visiškai suskyla į dujinį silicį ir vandenilį. Silanas yra degus ir sprogus, jis sprogstamai degs ore arba halogeninėse dujose.

Taikymo sritys

Silanas turi platų panaudojimo spektrą. Be to, kad tai yra efektyviausias būdas pritvirtinti silicio molekules prie elemento paviršiaus gaminant saulės elementus, jis taip pat plačiai naudojamas gamybos įmonėse, tokiose kaip puslaidininkiai, plokščiųjų ekranų ir dengto stiklo gamyba.

Silanasyra silicio šaltinis cheminio garų nusodinimo procesams, tokiems kaip monokristalinis silicis, polikristalinės silicio epitaksinės plokštelės, silicio dioksidas, silicio nitridas ir fosfosilikatinis stiklas puslaidininkių pramonėje, ir yra plačiai naudojamas saulės elementų, silicio kopijavimo būgnų, fotoelektrinių jutiklių, optinių skaidulų ir specialaus stiklo gamyboje ir kūrime.

Pastaraisiais metais vis dar atsiranda aukštųjų technologijų silanų pritaikymo būdų, įskaitant pažangios keramikos, kompozicinių medžiagų, funkcinių medžiagų, biomedžiagų, didelės energijos medžiagų ir kt. gamybą, tapdamos daugelio naujų technologijų, naujų medžiagų ir naujų prietaisų pagrindu.