Silanasyra silicio ir vandenilio junginys ir yra bendras junginių serijos terminas. Silaną daugiausia sudaro monosilanas (SiH4), disilanas (Si2H6) ir kai kurie aukštesnio lygio silicio vandenilio junginiai, kurių bendra formulė SinH2n+2. Tačiau faktinėje gamyboje monosilaną (cheminė formulė SiH4) paprastai vadiname „silanu“.

Elektroninės klasėssilano dujosdaugiausia gaunamas įvairiomis reakcijomis distiliuojant ir gryninant silicio miltelius, vandenilį, silicio tetrachloridą, katalizatorių ir kt. Silanas, kurio grynumas yra nuo 3 N iki 4 N, vadinamas pramoninės klasės silanu, o silanas, kurio grynumas didesnis nei 6 N, vadinamas elektroniniu. klasės silano dujos.

Kaip dujų šaltinis silicio komponentams nešti,silano dujostapo svarbiomis specialiomis dujomis, kurių negalima pakeisti daugeliu kitų silicio šaltinių dėl didelio grynumo ir gebėjimo tiksliai valdyti. Monosilane per pirolizės reakciją gamina kristalinį silicį, kuris šiuo metu yra vienas iš didelio masto granuliuoto monokristalinio silicio ir polikristalinio silicio gamybos būdų pasaulyje.

Silano savybės

Silanas (SiH4)yra bespalvės dujos, kurios reaguoja su oru ir sukelia uždusimą. Jo sinonimas yra silicio hidridas. Cheminė silano formulė yra SiH4, o jo kiekis siekia net 99,99%. Kambario temperatūroje ir slėgyje silanas yra nemalonaus kvapo toksiškos dujos. Silano lydymosi temperatūra yra -185 ℃, o virimo temperatūra -112 ℃. Kambario temperatūroje silanas yra stabilus, tačiau kaitinamas iki 400 ℃, jis visiškai suskaidys į dujinį silicį ir vandenilį. Silanas yra degus ir sprogus, be to, jis sprogs ore arba halogeninėse dujose.

Taikymo laukai

Silanas turi platų panaudojimo spektrą. Be to, kad tai yra efektyviausias būdas pritvirtinti silicio molekules prie elemento paviršiaus gaminant saulės elementus, jis taip pat plačiai naudojamas gamybos įmonėse, tokiose kaip puslaidininkiai, plokščiaekraniai ekranai ir dengtas stiklas.

Silanasyra silicio šaltinis cheminiams garų nusodinimo procesams, tokiems kaip monokristalinis silicis, polikristalinio silicio epitaksinės plokštelės, silicio dioksidas, silicio nitridas ir fosfilikatinis stiklas puslaidininkių pramonėje, ir yra plačiai naudojamas gaminant ir tobulinant saulės elementus, silicio kopijavimo aparatų būgnus. , fotoelektriniai jutikliai, optinės skaidulos ir specialus stiklas.

Pastaraisiais metais vis dar atsiranda aukštųjų technologijų silanų taikymas, įskaitant pažangios keramikos, kompozicinių medžiagų, funkcinių medžiagų, biomedžiagų, daug energijos naudojančių medžiagų ir kt. gamybą, tampa daugelio naujų technologijų, naujų medžiagų ir naujų technologijų pagrindu. prietaisai.