Anglies tetrafluoridas (CF4)

Techniniai parametrai

Anglies tetrafluoridas yra halogenintas angliavandenilis, kurio cheminė formulė CF4. Jį galima laikyti halogenintu angliavandeniliu, halogenintu metanu, perfluorangliavandeniliu arba neorganiniu junginiu. Anglies tetrafluoridas yra bespalvės ir bekvapės dujos, netirpsta vandenyje, tirpsta benzene ir chloroforme. Stabilios esant normaliai temperatūrai ir slėgiui, venkite stiprių oksidatorių, degių ar degių medžiagų. Nedegios dujos, vidinis indo slėgis padidėja veikiant didelei temperatūrai, todėl kyla įtrūkimų ir sprogimo pavojus. Jis yra chemiškai stabilus ir nedegus. Kambario temperatūroje gali veikti tik skystas amoniako-natrio metalo reagentas. Anglies tetrafluoridas yra dujos, sukeliančios šiltnamio efektą. Jis yra labai stabilus, gali ilgai išlikti atmosferoje ir yra labai stiprios šiltnamio efektą sukeliančios dujos. Anglies tetrafluoridas naudojamas įvairių integrinių grandynų plazminio ėsdinimo procese. Jis taip pat naudojamas kaip lazerio dujos ir naudojamas žemos temperatūros šaldymo agentuose, tirpikliuose, tepaluose, izoliacinėse medžiagose ir infraraudonųjų spindulių detektorių aušinimo skysčiuose. Tai dažniausiai naudojamos plazminio ėsdinimo dujos mikroelektronikos pramonėje. Tai yra tetrafluormetano didelio grynumo dujų ir tetrafluormetano didelio grynumo dujų bei didelio grynumo deguonies mišinys. Jis gali būti plačiai naudojamas silicyje, silicio diokside, silicio nitride ir fosfosilikatiniame stikle. Plonų plėvelių medžiagų, tokių kaip volframas ir volframas, ėsdinimas taip pat plačiai naudojamas elektroninių prietaisų paviršių valymui, saulės elementų gamyboje, lazerių technologijose, žemos temperatūros šaldyme, nuotėkių tikrinime ir plovikliuose spausdintinių plokščių gamyboje. Naudojamas kaip žemos temperatūros šaltnešis ir plazminio sauso ėsdinimo technologija integrinėms grandinėms. Atsargumo priemonės laikant: laikyti vėsioje, vėdinamoje nedegių dujų sandėlyje. laikyti atokiau nuo ugnies ir šilumos šaltinių. laikymo temperatūra neturi viršyti 30 °C. reikia laikyti atskirai nuo lengvai (degių) degių medžiagų ir oksidatorių, vengti mišraus laikymo. laikymo patalpoje turi būti įrengta nuotėkio avarinio valymo įranga.

Taikymas:

① Šaldymo agentas:

Tetrafluormetanas kartais naudojamas kaip žemos temperatūros šaltnešis.

② Ėsdinimas:

Jis naudojamas elektronikos mikrogamyboje vienas arba kartu su deguonimi kaip plazminis silicio, silicio dioksido ir silicio nitrido ėsdiklis.

Įprastas paketas:

Privalumas:

①Didelis grynumas, naujausias įrenginys;

②ISO sertifikato gamintojas;

③Greitas pristatymas;

④ Internetinė kokybės kontrolės analizės sistema kiekviename žingsnyje;

5. Didelis reikalavimas ir kruopštus cilindro tvarkymo procesas prieš pildant;