Anglies tetrafluoridas (CF4)

Techniniai parametrai

Anglies tetrafluoridas yra halogenintas angliavandenilis, kurio cheminė formulė yra CF4. Jis gali būti laikomas halogenintu angliavandeniliu, halogenintu metanu, perfluorangliavandeniliu arba neorganiniu junginiu. Anglies tetrafluoridas yra bespalvės ir bekvapės dujos, netirpios vandenyje, tirpios benzene ir chloroforme. Stabilus esant normaliai temperatūrai ir slėgiui, venkite stiprių oksidantų, degių ar degių medžiagų. Nedegios dujos, veikiant dideliam karščiui padidės talpos vidinis slėgis, kyla įtrūkimo ir sprogimo pavojus. Jis yra chemiškai stabilus ir nedegus. Kambario temperatūroje gali veikti tik skystas amoniako-natrio metalo reagentas. Anglies tetrafluoridas yra dujos, sukeliančios šiltnamio efektą. Jis yra labai stabilus, gali ilgai išbūti atmosferoje ir yra labai galingos šiltnamio efektą sukeliančios dujos. Anglies tetrafluoridas naudojamas įvairių integrinių grandynų ėsdinimo plazmoje procese. Jis taip pat naudojamas kaip lazerio dujos ir naudojamas žemos temperatūros šaltnešiuose, tirpikliuose, tepaluose, izoliacinėse medžiagose ir infraraudonųjų spindulių detektorių aušinimo skysčiuose. Tai dažniausiai mikroelektronikos pramonėje naudojamos plazminio ėsdinimo dujos. Tai didelio grynumo tetrafluormetano dujų ir didelio grynumo tetrafluormetano dujų bei didelio grynumo deguonies mišinys. Jis gali būti plačiai naudojamas silicyje, silicio dioksidu, silicio nitride ir fosfosilikatiniame stikle. Plonos plėvelės medžiagų, tokių kaip volframas ir volframas, ėsdinimas taip pat plačiai naudojamas elektroninių prietaisų paviršių valymui, saulės elementų gamybai, lazerinėms technologijoms, žemos temperatūros šaldymui, nuotėkio tikrinimui ir plovikliui spausdintinės grandinės gamyboje. Naudojama kaip žemos temperatūros šaltnešio ir plazminio sauso ėsdinimo technologija integriniams grandynams. Sandėliavimo atsargumo priemonės: Laikyti vėsioje, vėdinamoje nedegių dujų sandėlyje. Laikyti atokiai nuo ugnies ir šilumos šaltinių. Laikymo temperatūra neturi viršyti 30°C. Jis turi būti laikomas atskirai nuo lengvai (degių) degiųjų medžiagų ir oksidantų ir vengti mišraus sandėliavimo. Sandėliavimo zonoje turi būti įrengta avarinio nuotėkio gydymo įranga.

Taikymas:

① Šaldymo agentas:

Tetrafluormetanas kartais naudojamas kaip žemos temperatūros šaltnešis.

② ofortas:

Jis naudojamas elektronikos mikrogamyboje vienas arba kartu su deguonimi kaip plazminis silicio, silicio dioksido ir silicio nitrido ėsdiklis.

Įprasta pakuotė:

Privalumas:

①Aukšto grynumo, naujausia įranga;

②ISO sertifikato gamintojas;

③ Greitas pristatymas;

④Online analizės sistema kokybės kontrolei kiekviename žingsnyje;

⑤ Aukšti reikalavimai ir kruopštus cilindro tvarkymo procesas prieš užpildant;