Anglies tetrafluoridas (CF4)

Trumpas aprašymas:

Anglies tetrafluoridas, dar žinomas kaip tetrafluormetanas, yra bespalvės dujos, esant normaliai temperatūrai ir slėgiui, netirpios vandenyje.CF4 dujos šiuo metu yra plačiausiai naudojamos plazminio ėsdinimo dujos mikroelektronikos pramonėje.Jis taip pat naudojamas kaip lazerio dujos, kriogeninis šaltnešis, tirpiklis, tepalas, izoliacinė medžiaga ir infraraudonųjų spindulių detektorių vamzdžių aušinimo skystis.


Produkto detalė

Produkto etiketės

Techniniai parametrai

Specifikacija 99,999 %
Deguonis + argonas ≤1 ppm
Azotas ≤4 ppm
Drėgmė (H2O) ≤3 ppm
HF ≤0,1 ppm
CO ≤0,1 ppm
CO2 ≤1 ppm
SF6 ≤1 ppm
Halokarbinai ≤1 ppm
Iš viso priemaišų ≤10 ppm

Anglies tetrafluoridas yra halogenintas angliavandenilis, kurio cheminė formulė CF4.Jis gali būti laikomas halogenintu angliavandeniliu, halogenintu metanu, perfluorangliavandeniliu arba neorganiniu junginiu.Anglies tetrafluoridas yra bespalvės ir bekvapės dujos, netirpios vandenyje, tirpios benzene ir chloroforme.Stabilus esant normaliai temperatūrai ir slėgiui, vengti stiprių oksidantų, degių ar degių medžiagų.Nedegios dujos, veikiant dideliam karščiui padidės talpos vidinis slėgis, kyla įtrūkimo ir sprogimo pavojus.Jis yra chemiškai stabilus ir nedegus.Kambario temperatūroje gali veikti tik skystas amoniako-natrio metalo reagentas.Anglies tetrafluoridas yra dujos, sukeliančios šiltnamio efektą.Jis yra labai stabilus, gali ilgai išbūti atmosferoje ir yra labai galingos šiltnamio efektą sukeliančios dujos.Anglies tetrafluoridas naudojamas įvairių integrinių grandynų plazminio ėsdinimo procese.Jis taip pat naudojamas kaip lazerio dujos ir naudojamas žemos temperatūros šaltnešiuose, tirpikliuose, tepaluose, izoliacinėse medžiagose ir infraraudonųjų spindulių detektorių aušinimo skysčiuose.Tai dažniausiai mikroelektronikos pramonėje naudojamos plazminio ėsdinimo dujos.Tai didelio grynumo tetrafluormetano dujų ir didelio grynumo tetrafluormetano dujų bei didelio grynumo deguonies mišinys.Jis gali būti plačiai naudojamas silicyje, silicio dioksidu, silicio nitride ir fosfosilikatiniame stikle.Plonų plėvelių medžiagų, tokių kaip volframas ir volframas, ėsdinimas taip pat plačiai naudojamas elektroninių prietaisų paviršių valymui, saulės elementų gamybai, lazerinėms technologijoms, žemos temperatūros šaldymui, nuotėkio tikrinimui ir plovikliui spausdintinių grandinių gamyboje.Naudojama kaip žemos temperatūros šaltnešio ir plazminio sauso ėsdinimo technologija integriniams grandynams.Sandėliavimo atsargumo priemonės: Laikyti vėsioje, vėdinamoje nedegių dujų sandėlyje.Laikyti atokiai nuo ugnies ir šilumos šaltinių.Laikymo temperatūra neturi viršyti 30°C.Jis turi būti laikomas atskirai nuo lengvai (degių) degiųjų medžiagų ir oksidantų ir vengti mišraus sandėliavimo.Sandėliavimo zonoje turi būti įrengta avarinio nuotėkio gydymo įranga.

Taikymas:

① Šaldymo agentas:

Tetrafluormetanas kartais naudojamas kaip žemos temperatūros šaltnešis.

  fdrgr greg

② ofortas:

Jis naudojamas elektronikos mikrogamyboje vienas arba kartu su deguonimi kaip plazminis silicio, silicio dioksido ir silicio nitrido ėsdiklis.

dsgre rgg

Įprasta pakuotė:

Produktas Anglies tetrafluoridasCF4
Pakuotės dydis 40ltr cilindras 50ltr cilindras  
Užpildymas Grynasis svoris/cil 30 kg 38 kg  
Kiekis įkeltas į 20' konteinerį 250 cilindrų 250 cilindrų
Bendras grynasis svoris 7,5 tonos 9,5 tonos
Cilindro taros svoris 50 kg 55 kg
Vožtuvas CGA 580

Privalumas:

①Aukšto grynumo, naujausia įranga;

②ISO sertifikato gamintojas;

③Greitas pristatymas;

④Online analizės sistema kokybės kontrolei kiekviename žingsnyje;

⑤ Aukšti reikalavimai ir kruopštus cilindro tvarkymo procesas prieš užpildant;


  • Ankstesnis:
  • Kitas:

  • Parašykite savo žinutę čia ir atsiųskite mums