Didžiausias elektroninių specialių dujų - azoto trifluorido NF3 kiekis

Mūsų šalies puslaidininkių pramonė ir komisijos pramonė išlaiko aukštą gerovės lygį. Azoto trifluoridas, kaip nepakeičiamas ir didžiausias specialias elektronines dujas, gaminant ir perdirbant plokštes ir puslaidininkius, turi plačią erdvę rinkoje.

Dažniausiai naudojamos fluoro turinčios specialios elektroninės dujos apimaSieros heksafluoridas (SF6), volframas hexafluoride (WF6),Anglies tetrafluoridas (CF4), trifluorometanas (CHF3), azoto trifluoridas (NF3), heksafluoretanas (C2F6) ir oktafluoropropanas (C3F8). Azoto trifluoridas (NF3) daugiausia naudojamas kaip fluoro šaltinis vandenilio fluoro-fluorido dujose, kuriose yra didelės energijos cheminės lazeriai. The effective part (about 25%) of the reaction energy between H2-O2 and F2 can be released by laser radiation, so HF-OF lasers are the most promising lasers among chemical lasers.

Azoto trifluoridas yra puikios plazmos ėsdinančios dujos mikroelektronikos pramonėje. Silicio ir silicio nitrido ėsdinimui azoto trifluoride yra didesnis ėsdinimo greitis ir selektyvumas nei anglies tetrafluoridas ir anglies tetrafluorido bei deguonies mišinys, ir neturi jokios taršos paviršiaus. Ypač ėsdinant integruotas grandinės medžiagas, kurių storis yra mažesnis nei 1,5U, azoto trifluoridas turi labai puikų ėsdinimo greitį ir selektyvumą, nepalieka likučių ant išgraviruoto objekto paviršiaus, taip pat yra labai geras valymo priemonė. Tobulinant nanotechnologijas ir didelio masto elektronikos pramonės plėtrą, jos paklausa padidės kiekvieną dieną.

微信图片 _20241226103111

Azoto trifluoridas (NF3) yra didžiausias elektroninis specialus dujų produktas rinkoje. Tai chemiškai inertiška kambario temperatūroje, aktyvesnis už deguonį, stabilesnis nei fluoras ir lengvai valdomas aukštoje temperatūroje.

Azoto trifluoridas daugiausia naudojamas kaip plazmos ėsdinimo dujų ir reakcijos kamerų valymo agentas, tinkamas gamybos laukams, tokiems kaip puslaidininkių lustai, plokščių plokščių ekranai, optiniai pluoštai, fotoelektrinės ląstelės ir kt.

Palyginti su kitomis fluorinu turinčiomis elektroninėmis dujomis, azoto trifluoridas turi greitos reakcijos ir didelio efektyvumo pranašumus, ypač ofortuojant silicio turinčias medžiagas, tokias kaip silicio nitridas procesas.


Pašto laikas: 2012 m. Gruodžio 26 d