Elektroninėspecialios dujosyra svarbi specialiųjų dujų šaka. Jie prasiskverbia beveik į visas puslaidininkių gamybos grandis ir yra nepakeičiamos žaliavos gaminant elektronikos pramonę, pavyzdžiui, itin didelio masto integrinius grandynus, plokščiaekranius ekranus ir saulės elementus.

Puslaidininkių technologijoje plačiai naudojamos fluoro turinčios dujos. Šiuo metu pasaulinėje elektroninių dujų rinkoje fluoro turinčios elektroninės dujos sudaro apie 30 proc. Fluoro turinčios elektroninės dujos yra svarbi specialių elektroninių dujų sudedamoji dalis elektroninės informacinės medžiagos srityje. Jie daugiausia naudojami kaip valymo ir ėsdinimo priemonės, taip pat gali būti naudojami kaip priedai, plėvelę formuojančios medžiagos ir kt. Šiame straipsnyje autorius padės suprasti įprastas fluoro turinčias dujas.

Toliau nurodytos dažniausiai naudojamos fluoro turinčios dujos

Azoto trifluoridas (NF3): dujos, naudojamos valyti ir pašalinti nuosėdas, dažniausiai naudojamos reakcijos kameroms ir įrangos paviršiams valyti.

Sieros heksafluoridas (SF6): Fluorinanti medžiaga, naudojama oksido nusodinimo procesuose ir kaip izoliacinės dujos, skirtos užpildyti izoliacinę terpę.

Vandenilio fluoridas (HF): naudojamas oksidams pašalinti nuo silicio paviršiaus ir kaip ėsdinimo priemonė siliciui ir kitoms medžiagoms ėsdinti.

Azoto fluoridas (NF): naudojamas tokioms medžiagoms kaip silicio nitridas (SiN) ir aliuminio nitridas (AlN) ėsdinti.

Trifluormetanas (CHF3) irtetrafluormetanas (CF4): Naudojamas ėsdinti fluorido medžiagas, tokias kaip silicio fluoridas ir aliuminio fluoridas.

Tačiau fluoro turinčios dujos turi tam tikrų pavojų, įskaitant toksiškumą, ėsdinamumą ir degumą.

Toksiškumas

Kai kurios fluoro turinčios dujos yra toksiškos, pavyzdžiui, vandenilio fluoridas (HF), kurio garai labai dirgina odą ir kvėpavimo takus bei kenkia žmonių sveikatai.

Koroziškumas

Vandenilio fluoridas ir kai kurie fluoridai yra labai ėsdinantys ir gali rimtai pažeisti odą, akis ir kvėpavimo takus.

Degumas

Kai kurie fluoridai yra degūs ir reaguoja su ore esančiu deguonimi arba vandeniu, išskirdami stiprią šilumą ir toksiškas dujas, kurios gali sukelti gaisrą ar sprogimą.

Aukšto slėgio pavojus

Kai kurios fluorintos dujos yra sprogios esant aukštam slėgiui, todėl jas naudojant ir laikant reikia būti ypač atsargiems.

Poveikis aplinkai

Fluoro turinčių dujų eksploatavimo laikas atmosferoje ir GWP vertės yra ilgos, o tai naikina atmosferos ozono sluoksnį ir gali sukelti visuotinį atšilimą bei aplinkos taršą.

Dujų panaudojimas naujose srityse, tokiose kaip elektronika, ir toliau gilėja, todėl atsiranda daug naujos pramoninių dujų paklausos. Atsižvelgiant į didelius naujų pagrindinių elektroninių komponentų, pvz., puslaidininkių ir ekranų plokščių, gamybos pajėgumus žemyninėje Kinijoje per ateinančius kelerius metus, taip pat didele paklausa pakeisti importo elektronines chemines medžiagas, vidaus elektroninių dujų pramonė pradės veikti. didelis augimo tempas.