ElektroninisSpecialios dujosyra svarbi specialių dujų šaka. Jie prasiskverbia į beveik kiekvieną puslaidininkių gamybos ryšį ir yra būtinos žaliavos elektroninėms pramonės šakoms, tokioms kaip ypač didelio masto integruotos grandinės, plokščios plokštės ekrano įrenginiai ir saulės elementai, gamybai.

Puslaidininkių technologijoje plačiai naudojamos fluoro turinčios dujos. Šiuo metu pasaulinėje elektroninių dujų rinkoje fluoro turinčios elektroninės dujos sudaro apie 30% visų. Fluoro turinčios elektroninės dujos yra svarbi specialių elektroninių dujų komponentas elektroninės informacijos medžiagų srityje. Jie daugiausia naudojami kaip valymo priemonės ir ėsdinimo agentai, taip pat gali būti naudojami kaip dopantai, filmų formavimo medžiagos ir kt.

Toliau pateikiamos dažniausiai naudojamos fluoro turinčios dujos

Azoto trifluoridas (NF3): dujos, naudojamos nuosėdoms valyti ir pašalinti, paprastai naudojamos valyti reakcijos kameras ir įrangos paviršius.

Sieros heksafluoridas (SF6): Fluorinuojantis agentas, naudojamas oksido nusėdimo procesuose ir kaip izoliacinės dujos izoliacinėms terpėms užpildyti.

Vandenilio fluoras (HF): naudojamas oksidams pašalinti iš silicio paviršiaus ir kaip ėsdinant silicio ir kitų medžiagų ėsdinimą.

Azoto fluoras (NF): naudojamas ėsdinant tokias medžiagas kaip silicio nitridas (sin) ir aliuminio nitridas (ALN).

Trifluorometanas (CHF3) irtetrafluorometanas (CF4): Naudojamos išgraviruoti fluoro medžiagas, tokias kaip silicio fluoras ir aliuminio fluoras.

Tačiau fluoro turinčios dujos kelia tam tikrą pavojų, įskaitant toksiškumą, koroziškumą ir degumą.

Toksiškumas

Kai kurios fluoro turinčios dujos yra toksiškos, tokios kaip vandenilio fluoras (HF), kurio garai labai dirgina odą ir kvėpavimo takus bei kenksmingi žmonių sveikatai.

Korozija

Vandenilio fluoras ir kai kurie fluoridai yra labai ėsdinantys ir gali sukelti didelę žalą odai, akims ir kvėpavimo takams.

Degumas

Kai kurie fluoridai yra degi ir reaguoja su ore su deguonimi ar vandeniu, kad būtų išlaisvintos intensyvios šilumos ir toksiškos dujos, kurios gali sukelti gaisrą ar sprogimą.

Aukšto slėgio pavojus

Kai kurios fluorintos dujos yra sprogstamos esant aukštam slėgiui ir, kai naudojamos ir laikomos, reikalauja ypatingos priežiūros.

Poveikis aplinkai

Fluorino turinčios dujos turi didelę atmosferos gyvavimo laiką ir GWP vertes, kurios daro destruktyvų poveikį atmosferos ozono sluoksniui ir gali sukelti visuotinį atšilimą ir aplinkos taršą.

Dujų pritaikymas kylančiuose laukuose, tokiuose kaip elektronika, ir toliau gilėja, todėl padidėja naujos pramoninių dujų paklausa. Remiantis dideliu naujų pagrindinių elektroninių komponentų, tokių kaip puslaidininkiai, gamybos pajėgumų kiekį per ateinančius kelerius metus žemyninėje Kinijoje, taip pat didelę elektroninių cheminių medžiagų pakeitimo poreikį, vidaus elektroninių dujų pramonė pakenks dideliam augimo tempui.