Elektroninisspecialios dujosyra svarbi specialiųjų dujų šaka. Jos prasiskverbia į beveik kiekvieną puslaidininkių gamybos grandinę ir yra nepakeičiama žaliava elektronikos pramonės, tokios kaip itin didelio masto integriniai grandynai, plokščiųjų ekranų įrenginiai ir saulės elementai, gamybai.

Puslaidininkių technologijose plačiai naudojamos fluoro turinčios dujos. Šiuo metu pasaulinėje elektroninių dujų rinkoje fluoro turinčios elektroninės dujos sudaro apie 30 % visos rinkos. Fluoro turinčios elektroninės dujos yra svarbus specialiųjų elektroninių dujų komponentas elektroninių informacinių medžiagų srityje. Jos daugiausia naudojamos kaip valymo ir ėsdinimo medžiagos, taip pat gali būti naudojamos kaip priemaišos, plėvelę formuojančios medžiagos ir kt. Šiame straipsnyje autorius padės jums suprasti dažniausiai pasitaikančias fluoro turinčias dujas.

Dažniausiai naudojamos fluoro turinčios dujos yra šios:

Azoto trifluoridas (NF3): dujos, naudojamos nuosėdoms valyti ir šalinti, paprastai naudojamos reakcijos kameroms ir įrangos paviršiams valyti.

Sieros heksafluoridas (SF6)Fluorinimo medžiaga, naudojama oksidų nusodinimo procesuose ir kaip izoliacinės dujos izoliacinėms terpėms užpildyti.

Vandenilio fluoridas (HF): Naudojamas oksidams pašalinti nuo silicio paviršiaus ir kaip ėsdinimo medžiaga silicio ir kitų medžiagų ėsdinimui.

Azoto fluoridas (NF): Naudojamas ėsdinti tokias medžiagas kaip silicio nitridas (SiN) ir aliuminio nitridas (AlN).

Trifluormetanas (CHF3) irtetrafluormetanas (CF4)Naudojamas fluorido turinčioms medžiagoms, tokioms kaip silicio fluoridas ir aliuminio fluoridas, ėsdinti.

Tačiau fluoro turinčios dujos kelia tam tikrų pavojų, įskaitant toksiškumą, ėsdinimą ir degumą.

Toksiškumas

Kai kurios fluoro turinčios dujos yra toksiškos, pavyzdžiui, vandenilio fluoridas (HF), kurio garai labai dirgina odą ir kvėpavimo takus bei kenkia žmonių sveikatai.

Koroziškumas

Vandenilio fluoridas ir kai kurie fluoridai yra labai ėsdinantys ir gali rimtai pažeisti odą, akis ir kvėpavimo takus.

Degumas

Kai kurie fluoridai yra degūs ir reaguoja su ore esančiu deguonimi arba vandeniu, išskirdami intensyvią šilumą ir toksiškas dujas, kurios gali sukelti gaisrą arba sprogimą.

Aukšto slėgio pavojus

Kai kurios fluorintos dujos yra sprogios esant aukštam slėgiui, todėl jas naudojant ir laikant reikia elgtis ypatingai atsargiai.

Poveikis aplinkai

Fluoro turinčios dujos pasižymi ilgu atmosferos gyvavimo laiku ir GWP vertėmis, kurios daro žalingą poveikį atmosferos ozono sluoksniui ir gali sukelti visuotinį atšilimą bei aplinkos taršą.

Dujų naudojimas besiformuojančiose srityse, tokiose kaip elektronika, toliau gilėja, todėl didėja nauja pramoninių dujų paklausa. Atsižvelgiant į didelius naujų pagrindinių elektroninių komponentų, tokių kaip puslaidininkiai ir ekranų plokštės, gamybos pajėgumus žemyninėje Kinijoje per ateinančius kelerius metus, taip pat į didelę elektroninių cheminių medžiagų importo pakeitimo paklausą, vidaus elektroninių dujų pramonė sparčiai augs.