Kas yraanglies tetrafluoridas? Kokia nauda?
Anglies tetrafluoridas, taip pat žinomas kaip tetrafluormetanas, yra laikomas neorganiniu junginiu. Jis naudojamas įvairių integrinių grandynų plazminio ėsdinimo procese, taip pat naudojamas kaip lazerio dujos ir šaltnešis. Jis yra gana stabilus esant normaliai temperatūrai ir slėgiui, tačiau būtina vengti sąlyčio su stipriais oksidatoriais, degiomis ar degiomis medžiagomis. Anglies tetrafluoridas yra nedegios dujos. Jei jis susidurs su dideliu karščiu, padidės vidinis talpyklos slėgis ir kyla įtrūkimo ir sprogimo pavojus. Paprastai jis gali sąveikauti tik su skystu amoniako-natrio metalo reagentu kambario temperatūroje.
Anglies tetrafluoridasšiuo metu yra didžiausios plazminio ėsdinimo dujos, naudojamos mikroelektronikos pramonėje. Jis gali būti plačiai naudojamas silicio, silicio dioksido, fosfilikatinio stiklo ir kitų plonasluoksnių medžiagų ėsdinimui, elektroninių prietaisų paviršiaus valymui, saulės elementų gamybai, lazerinei technologijai, dujų fazės izoliacijai, žemos temperatūros šaldymui, nuotėkio aptikimo priemonėms, o plovikliai spausdintinių grandynų gamyboje turi daug pritaikymų.
Paskelbimo laikas: 2021-11-01
