Kas yraanglies tetrafluoridasKokia iš to nauda?
Anglies tetrafluoridas, dar žinomas kaip tetrafluormetanas, laikomas neorganiniu junginiu. Jis naudojamas įvairių integrinių grandynų plazminio ėsdinimo procese, taip pat naudojamas kaip lazerinės dujos ir šaltnešis. Esant normaliai temperatūrai ir slėgiui, jis yra gana stabilus, tačiau būtina vengti sąlyčio su stipriais oksidatoriais, degiomis ar degiomis medžiagomis. Anglies tetrafluoridas yra nedegios dujos. Jei jis susiduria su didele šiluma, padidėja vidinis indo slėgis, todėl kyla įtrūkimo ir sprogimo pavojus. Paprastai jis gali sąveikauti tik su skystu amoniako-natrio metalo reagentu kambario temperatūroje.
Anglies tetrafluoridasŠiuo metu yra plačiausiai mikroelektronikos pramonėje naudojamos plazminio ėsdinimo dujos. Jos gali būti plačiai naudojamos silicio, silicio dioksido, fosfosilikatinio stiklo ir kitų plonų plėvelių medžiagų ėsdinimui, elektroninių prietaisų paviršių valymui, saulės elementų gamyboje, lazerių technologijose, dujų fazės izoliacijai, žemos temperatūros šaldymui, nuotėkių aptikimo medžiagoms ir plovikliams spausdintinių plokščių gamyboje, turinčios daugybę pritaikymo sričių.
Įrašo laikas: 2021 m. lapkričio 1 d.
