Silanas (SiH4)

Techniniai parametrai

Silanas yra silicio ir vandenilio junginys. Tai bendras terminas, apibūdinantis daugybę junginių, įskaitant monosilaną (SiH4), disilaną (Si2H6) ir kai kuriuos aukštesnio lygio silicio-vandenilio junginius. Tarp jų monosilanas yra labiausiai paplitęs, kartais trumpai vadinamas silanu. Silanas yra bespalvės dujos, turinčios bjaurų česnako kvapą. Tirpsta vandenyje, beveik netirpsta etanolyje, eteryje, benzene, chloroforme, silicio chloroforme ir silicio tetrachloride. Cheminės silanų savybės yra daug aktyvesnės nei alkanų ir lengvai oksiduojasi. Esant sąlyčiui su oru, gali įvykti savaiminis užsidegimas. Jis nereaguoja su azotu žemesnėje nei 25°C temperatūroje ir nereaguoja su angliavandenilių junginiais kambario temperatūroje. Silano gaisras ir sprogimas yra reakcijos su deguonimi rezultatas. Silanas itin jautrus deguoniui ir orui. Tam tikros koncentracijos silanas taip pat sprogstamai reaguos su deguonimi -180°C temperatūroje. Silanas tapo svarbiausiomis specialiosiomis dujomis, naudojamomis puslaidininkių mikroelektronikos procesuose, yra naudojamas ruošiant įvairias mikroelektronines plėveles, įskaitant monokristalines, mikrokristalines, polikristalines, silicio oksidą, silicio nitridą, metalų silicidus. Silano mikroelektroniniai pritaikymai vis dar tobulinami: žemos temperatūros epitaksija, selektyvinė epitaksija ir heteroepitaksinė epitaksija. Ne tik silicio prietaisams ir silicio integriniams grandynams, bet ir sudėtiniams puslaidininkiniams įtaisams (galio arsenidui, silicio karbidui ir kt.). Jis taip pat naudojamas ruošiant supergardelės kvantinių šulinių medžiagas. Galima sakyti, kad šiais laikais silanas naudojamas beveik visose pažangiose integrinių grandynų gamybos linijose. Silano, kaip silicio turinčios plėvelės ir dangos, naudojimas iš tradicinės mikroelektronikos pramonės išsiplėtė į įvairias sritis, tokias kaip plienas, mašinos, chemikalai ir optika. Kitas galimas silano pritaikymas – didelio našumo keraminių variklių dalių gamyba, ypač silano panaudojimas silicidinių (Si3N4, SiC ir kt.) mikromiltelių gamybai sulaukia vis daugiau dėmesio.

Taikymas:

①Elektroninis:

Silanas dedamas ant polikristalinio silicio sluoksnių ant silicio plokštelių gaminant puslaidininkius ir sandariklius.

②Saulės energija:

Silanas naudojamas saulės fotovoltinių modulių gamyboje.

③ Pramonė:

Jis naudojamas energiją taupančiame žaliajame stikle ir naudojamas garų nusodinimo plonos plėvelės procesui.

Įprasta pakuotė:

Privalumas:

①Daugiau nei dešimt metų rinkoje;

②ISO sertifikato gamintojas;

③ Greitas pristatymas;

④ Stabilus žaliavos šaltinis;

⑤Online analizės sistema, skirta kokybės kontrolei kiekviename žingsnyje;

⑥ Aukšti reikalavimai ir kruopštus cilindro tvarkymo procesas prieš užpildant;

⑦ Grynumas: didelio grynumo elektroninė klasė;

⑧Naudojimas: saulės elementų medžiagos; didelio grynumo polisilicio, silicio oksido ir optinio pluošto gamyba; spalvoto stiklo gamyba.