Silanas (SiH4)

Techniniai parametrai

Silanas yra silicio ir vandenilio junginys. Tai bendrinis terminas, apimantis daugybę junginių, įskaitant monosilaną (SiH4), disilaną (Si2H6) ir kai kuriuos aukštesnio lygio silicio-vandenilio junginius. Iš jų labiausiai paplitęs yra monosilanas, kartais trumpai vadinamas silanu. Silanas yra bespalvės dujos, turinčios bjaurų česnako kvapą. Tirpsta vandenyje, beveik netirpsta etanolyje, eteryje, benzene, chloroforme, silicio chloroforme ir silicio tetrachloride. Silanų cheminės savybės yra daug aktyvesnės nei alkanų ir lengvai oksiduojasi. Susilietus su oru, gali įvykti savaiminis užsidegimas. Jis nereaguoja su azotu žemesnėje nei 25 °C temperatūroje ir nereaguoja su angliavandenilių junginiais kambario temperatūroje. Silano gaisras ir sprogimas yra reakcijos su deguonimi rezultatas. Silanas yra itin jautrus deguoniui ir orui. Tam tikros koncentracijos silanas taip pat sprogstamai reaguoja su deguonimi -180 °C temperatūroje. Silanas tapo svarbiausiomis specialiomis dujomis, naudojamomis puslaidininkių mikroelektronikos procesuose, ir naudojamas įvairių mikroelektroninių plėvelių, įskaitant monokristalines, mikrokristalines, polikristalines, silicio oksido, silicio nitrido ir metalų silicidų, gamyboje. Silano mikroelektronikos pritaikymas vis dar gilėja: žemos temperatūros epitaksija, selektyvioji epitaksija ir heteroepitaksija. Jis naudojamas ne tik silicio įtaisams ir silicio integriniams grandynams, bet ir sudėtiniams puslaidininkiniams įtaisams (galio arsenidui, silicio karbidui ir kt.). Jis taip pat naudojamas supergardelių kvantinių šulinių medžiagų gamyboje. Galima teigti, kad šiuolaikiniais laikais silanas naudojamas beveik visose pažangiose integrinių grandynų gamybos linijose. Silano, kaip silicio turinčios plėvelės ir dangos, taikymas išsiplėtė nuo tradicinės mikroelektronikos pramonės iki įvairių sričių, tokių kaip plieno, mašinų, chemijos ir optikos. Kitas galimas silano pritaikymas yra didelio našumo keraminių variklių dalių gamyba, ypač silano naudojimas silicidų (Si3N4, SiC ir kt.) mikromiltelių gamybai sulaukia vis daugiau dėmesio.

Taikymas:

①Elektroninis:

Silanas naudojamas ant polikristalinio silicio sluoksnių, esančių ant silicio plokštelių, gaminant puslaidininkius ir sandariklius.

②Saulės energija:

Silanas naudojamas saulės fotovoltinių modulių gamyboje.

③Pramoninis:

Jis naudojamas energiją taupančiame žaliajame stikle ir taikomas garų nusodinimo plonasluoksnių procesų metu.

Įprastas paketas:

Privalumas:

①Daugiau nei dešimt metų rinkoje;

②ISO sertifikato gamintojas;

③Greitas pristatymas;

4. Stabilus žaliavų šaltinis;

⑤On-line analizės sistema kokybės kontrolei kiekviename žingsnyje;

6. Didelis reikalavimas ir kruopštus cilindro tvarkymo procesas prieš pildant;

⑦Grynumas: didelio grynumo elektroninė kokybė;

6. Naudojimas: saulės elementų medžiagos; didelio grynumo polikristalinio silicio, silicio oksido ir optinio pluošto gamyba; spalvoto stiklo gamyba.