Įprastos fluoro turinčios specialios elektroninės dujos apimasieros heksafluoridas (SF6), volframo heksafluoridas (WF6),anglies tetrafluoridas (CF4), trifluormetanas (CHF3), azoto trifluoridas (NF3), heksafluoretanas (C2F6) ir oktafluorpropanas (C3F8).
Tobulėjant nanotechnologijoms ir plataus masto elektronikos pramonei, jos paklausa kasdien didės. Azoto trifluoridas, kaip nepakeičiamos ir daugiausiai naudojamos specialios elektroninės dujos plokščių ir puslaidininkių gamyboje ir apdirbime, turi plačią rinkos erdvę.
Kaip fluoro turinčių specialių dujų rūšis,azoto trifluoridas (NF3)yra elektroninis specialus dujų produktas, turintis didžiausią rinkos pajėgumą. Jis yra chemiškai inertiškas kambario temperatūroje, aktyvesnis už deguonį aukštoje temperatūroje, stabilesnis nei fluoras ir lengvai valdomas. Azoto trifluoridas daugiausia naudojamas kaip plazminės ėsdinimo dujos ir reakcijos kameros valymo priemonė ir tinka puslaidininkinių lustų, plokščiųjų ekranų, optinių skaidulų, fotovoltinių elementų ir kt.
Palyginti su kitomis fluoro turinčiomis elektroninėmis dujomis,azoto trifluoridasturi greitos reakcijos ir didelio efektyvumo privalumus. Ypač ėsdinant silicio turinčias medžiagas, tokias kaip silicio nitridas, jis pasižymi dideliu ėsdinimo greičiu ir selektyvumu, nepaliekant likučių ant išgraviruoto objekto paviršiaus. Tai taip pat labai gera valymo priemonė ir neužteršia paviršiaus, o tai gali patenkinti apdorojimo proceso poreikius.
Paskelbimo laikas: 2024-09-14
