Įprastos fluoro turinčios specialios elektroninės dujos apimasieros heksafluoridas (SF6), volframo heksafluoridas (WF6),anglies tetrafluoridas (CF4), trifluormetanas (CHF3), azoto trifluoridas (NF3), heksafluoretanas (C2F6) ir oktafluorpropanas (C3F8).
Tobulėjant nanotechnologijoms ir didelio masto elektronikos pramonei, jos paklausa kasdien didės. Azoto trifluoridas, kaip nepakeičiamos ir dažniausiai naudojamos specialios elektroninės dujos plokščių ir puslaidininkių gamyboje ir apdorojime, užima plačią rinkos erdvę.
Kaip fluoro turinčių specialiųjų dujų rūšis,azoto trifluoridas (NF3)yra elektronikos specialiųjų dujų produktas, turintis didžiausią rinkos pajėgumą. Jis yra chemiškai inertiškas kambario temperatūroje, aktyvesnis už deguonį aukštoje temperatūroje, stabilesnis už fluorą ir lengvai valdomas. Azoto trifluoridas daugiausia naudojamas kaip plazmos ėsdinimo dujos ir reakcijos kameros valymo priemonė, tinkama puslaidininkinių lustų, plokščiųjų ekranų, optinių skaidulų, fotovoltinių elementų ir kt. gamybos sritims.
Palyginti su kitomis fluoro turinčiomis elektroninėmis dujomis,azoto trifluoridasJis pasižymi greita reakcija ir dideliu efektyvumu. Ypač ėsdinant silicį turinčias medžiagas, tokias kaip silicio nitridas, jis pasižymi dideliu ėsdinimo greičiu ir selektyvumu, nepalieka likučių ant išgraviruoto objekto paviršiaus. Tai taip pat labai gera valymo priemonė, neužteršianti paviršiaus, todėl gali patenkinti apdorojimo proceso poreikius.
Įrašo laikas: 2024 m. rugsėjo 14 d.
