Įprastos fluoro turinčios specialios elektroninės dujos apimaSieros heksafluoridas (SF6), volframas hexafluoride (WF6),Anglies tetrafluoridas (CF4), trifluorometanas (CHF3), azoto trifluoridas (NF3), heksafluoretanas (C2F6) ir oktafluoropropanas (C3F8).
Tobulinant nanotechnologijas ir didelio masto elektronikos pramonės plėtrą, jos paklausa padidės kiekvieną dieną. Azoto trifluoridas, kaip nepakeičiamas ir didžiausias naudojamas specialias elektronines dujas gamybos ir perdirbimo srityse bei puslaidininkių gamyboje ir perdirbime, turi plačią erdvę rinkoje.
Kaip fluoro turinčių specialių dujų rūšis,Azoto trifluoridas (NF3)yra didžiausias elektroninis dujų produktas, turintis didžiausią rinkos pajėgumą. Tai chemiškai inertiška kambario temperatūroje, aktyvesnis nei deguonis aukštoje temperatūroje, stabilesnis nei fluoras ir lengvai valdomas. Azoto trifluoridas daugiausia naudojamas kaip plazmos ėsdinimo dujos ir reakcijos kameros valymo priemonė, ir yra tinkamas puslaidininkių traškučių gamybos laukams, plokščių plokščių ekranams, optinėms pluoštui, fotoelektrinėms ląstelėms ir kt.
Palyginti su kitomis fluoro turinčiomis elektroninėmis dujomis,Azoto trifluoridasturi greitos reakcijos ir didelio efektyvumo pranašumus. Ypač išgryninant silicio turinčias medžiagas, tokias kaip silicio nitridas, jos turi aukštą ėsdinimo greitį ir selektyvumą, nepalieka likučių ant išgraviruoto objekto paviršiaus. Tai taip pat yra labai geras valymo agentas ir neturi paviršiaus taršos, kuri gali patenkinti apdorojimo proceso poreikius.
Pašto laikas: 2014 m. Rugsėjo 14 d
